特許
J-GLOBAL ID：200903065534948239
光導波路とその製造方法、およびこの光導波路を用いた光デバイス
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
宮田 金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-345701
公開番号（公開出願番号）：特開2000-171650
出願日： 1998年12月04日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：
【要約】【課題】 低損失で曲率半径が小さい曲がり光導波路や、低損失で分岐角の大きい分岐光導波路を実現できる構成およびその製造方法を提供する。また、これらの光導波路を用いてた小型の光デバイスを提供する。【解決手段】 オゾン酸化型CVD法により、基板1上に下クラッド層2を成膜し、この下クラッド層2上にコア層3と、光導波路の曲がり部を構成するコア層側面に金属クラッド層4を設け、これらコア層3と金属クラッド層4上に、上クラッド層5を上記オゾン酸化型CVD法により600°C以下で成膜するようにした。
請求項（抜粋）：
コア層とクラッド層により構成された光導波路において、上記光導波路の曲がり部または分岐部のコア層の側面に金属クラッド層を設けるとともに、上記金属クラッド層以外の導波路材料を石英系材料で構成し、上記曲がり部または分岐部に、波動インピーダンスマッチング回路と、モードを保存させるモードフィルタとの少なくともいずれか一方を設けたことを特徴とする光導波路。
Fターム (20件)：
2H047KA04
, 2H047KA12
, 2H047KA13
, 2H047LA03
, 2H047LA12
, 2H047LA19
, 2H047PA04
, 2H047PA05
, 2H047PA06
, 2H047PA11
, 2H047PA22
, 2H047PA24
, 2H047QA01
, 2H047QA02
, 2H047QA04
, 2H047QA07
, 2H047TA05
, 2H047TA32
, 2H047TA36
, 2H047TA43
