座標測定機の温度補正装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-014654
公開番号（公開出願番号）：特開平6-229706
出願日： 1993年02月01日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：

【要約】【目的】温度補正ユニットを3次元座標測定機に設け、その長さを測定するだけで温度補正係数を求めることができるので、構造の簡素化や安価化を図る。【構成】温度補正ユニット24は第1、第2ベース25、26及び円柱体28、筒体30から成り、熱膨張率の比較的小さい円柱体28は第2ベース26の開口部を介して端部が第1ベース25に設けられている。円柱体28は周囲温度の変化に対応して伸縮した量が第2ベース26の伸縮量と同一に設定されている。また、筒体30は端部が第2ベース26に設けられている。そして、温度補正ユニット24は円柱体28、筒体30が3次元座標測定機10の座標軸にほぼ平行に位置決めされて測定範囲内に配置されている。制御部36には基準温度時の第2ベース26の基準面から円柱体28、筒体30の自由端までの基準長さ及び筒体30の熱膨張係数が予め記憶されていて、制御部36は、予め記憶されたデータと新たにプローブ22で測定した第2ベース26の基準面から円柱体28、筒体30の自由端までの測定長さから測定時の温度補正係数を計算する。

請求項（抜粋）：

座標軸方向に移動自在に設けられたプローブでワークの形状等を測定する座標測定機において、第1ベースに設けられ、開口部が形成された第2ベースと、熱膨張率の比較的小さい部材で形成されると共に前記第2ベースの開口部を介して端部が第1ベースに設けられ、かつ、周囲温度の変化に対応して伸縮した量が前記第2ベースの伸縮量と同一に設定された第1補正部材と、端部が前記第2ベースに設けられた第2補正部材と、から成る温度補正ユニットであって、該温度補正ユニットの第1、2補正部材が座標測定機の座標軸にほぼ平行に位置決めされた状態で前記座標測定機の測定範囲内に配置された温度補正ユニットと、基準温度における前記第2ベースの基準面から第1、2補正部材の自由端までの基準長さ及び第2補正部材の熱膨張係数が予め記憶され、該予め記憶されたデータと前記プローブで新たに測定した前記第2ベースの基準面から第1、2の補正部材の自由端までの測定長さから前記測定時の温度補正係数を計算する制御部と、を備えたことを特徴とする座標測定機の温度補正装置。

IPC (3件)：

G01B 5/20 101 , G01B 21/00 , G01B 21/04

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭63-128216
特開平2-261706
特開平3-252516

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