特許
J-GLOBAL ID:200903065542691620
多段スライドアーム装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
板谷 康夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-125621
公開番号(公開出願番号):特開2000-317875
出願日: 1999年05月06日
公開日(公表日): 2000年11月21日
要約:
【要約】【課題】 多段スライドアーム装置において、可動用と兼用したベルトで案内溝の開口部を覆い、多段であっても、クリーンルーム内への塵埃(パーティクル)の飛散防止を図る。【解決手段】 多段に積み重ねられたアーム状のフレーム2,3をベルト可動手段5,6で個々のフレーム2,3に形成された案内溝10,11に沿って可動させる構成とし、ベルト可動手段5,6のベルト58,65がフレームの可動時に案内溝10,11の略全長を常に覆った状態になり、塵埃の飛散防止が可能となる。
請求項(抜粋):
多段に積み重ねられたアーム状のフレームをベルト可動手段で個々のフレームに形成された案内溝に沿って可動させる多段スライドアーム装置において、前記ベルト可動手段のベルトが前記フレームの可動時に前記案内溝の略全長を覆うように設けられていることを特徴とする多段スライドアーム装置。
IPC (3件):
B25J 19/00
, B25J 18/02
, B65G 1/04 505
FI (3件):
B25J 19/00 H
, B25J 18/02
, B65G 1/04 505 D
Fターム (7件):
3F022BB09
, 3F022KK03
, 3F060GA01
, 3F060GA13
, 3F060GB02
, 3F060HA28
, 3F060HA29
引用特許:
審査官引用 (2件)
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特表昭61-502320
-
搬送ロボット
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-007709
出願人:富士通株式会社, 富士通ヴィエルエスアイ株式会社
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