特許
J-GLOBAL ID：200903065543672025
マイクロ波イオン源
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
成田 擴其
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-274910
公開番号（公開出願番号）：特開平6-103910
出願日： 1992年09月21日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：
【要約】【目的】 プラズマ室の長い領域に均一にマイクロ波を供給すること。【構成】 プラズマ室1の室壁1aに沿って、マイクロ波放射用の一次元的に長い2本一対のアンテナ311、312が平行に配置されており、両アンテナは、マイクロ波の1/4波長の整数倍の距離Lを置いて同一軸上に設ける。各アンテナに給電するマイクロ波発生器511、512は互いに反対側の位置にあり、各アンテナにおけるマイクロ波の伝搬方向は対向する。プラズマが生成される長い領域の両端部にマイクロ波の供給部が位置し、プラズマ生成部の全長に亘ってマイクロ波の吸収が均一化され、生成されるプラズマを均一化し、均一性のよい長尺イオンビームを引出すことができる。
請求項（抜粋）：
磁界中のマイクロ波放電によって内部にプラズマが生成されるプラズマ室と、生成されたプラズマからイオンビームを引出す引出し電極系と、前記プラズマ室の室壁に沿って配置された一次元的に長いマイクロ波放射用のアンテナと、このアンテナが配置された前記室壁の背面側にアンテナに沿うように配置された第1の磁石とを有し、前記アンテナ、前記プラズマ室の前記室壁及び生成されたプラズマがマイクロ波ストリップ線路構造を形成しているマイクロ波イオン源において、前記アンテナは同一軸上に配置された2本のアンテナを一対として成り、この一対のアンテナは、その各一端をマイクロ波の1/4波長の整数倍の距離をおいて配置されており、その各他端の側からマイクロ波が給電されて、マイクロ波の伝搬方向が対向していることを特徴とするマイクロ波イオン源。
IPC (2件)：
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