特許
J-GLOBAL ID：200903065546761967
液体原料気化装置および薄膜形成装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷 義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-344869
公開番号（公開出願番号）：特開平5-168802
出願日： 1991年12月26日
公開日（公表日）： 1993年07月02日
要約：
【要約】【目的】 室温で飽和蒸気圧の低い原料であっても効率よく気化させ、大量にかつ正確に輸送する。【構成】 液体原料気化装置は、加熱された雰囲気中に液体原料を液滴状に噴出するための先端が開放された細管4を有し、その前面に小孔40が開口している加熱された板30が配設されている。板30に対して細管4の反対側の空間Bは減圧されている。
請求項（抜粋）：
加熱された気体の雰囲気中に液体原料を液滴状に噴出するための先端が開放された細管が設けられ、該細管の前面に、小孔が開口しかつ加熱された板が配置され、前記板に対して前記細管の反対側の空間が減圧に排気されていることを特徴とする液体原料気化装置。
IPC (5件)：
B01D 1/16
, B01D 1/20
, C23C 16/44
, C30B 25/14
, H01L 21/285
