特許
J-GLOBAL ID:200903065546839680

膜厚測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 永井 義久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-204650
公開番号(公開出願番号):特開平6-050722
出願日: 1992年07月31日
公開日(公表日): 1994年02月25日
要約:
【要約】【目的】着色被膜の色調および膜厚を同時におよび同一の測定装置により測定できるようにするとともに、設備費の低減を図り、狭いスペースでの設置を可能とする。【構成】顔料または染料が実質的に均一に混合されかつ光を透過する光透過性を有する光透過性着色被膜の厚み測定に際し、前記光透過性着色被膜の色調を測定する色調測定装置を設け、この色調測定装置により測定した色調値Aに基づいて、前記光透過性着色被膜の膜厚Δtを下記の(1)式により求めることを特徴とする膜厚測定方法。Δt=αA+β...(1)ただし、α、βは光透過性着色被膜の種類により決まる係数。
請求項(抜粋):
顔料または染料が実質的に均一に混合されかつ光を透過する光透過性を有する光透過性着色被膜の厚み測定に際し、前記光透過性着色被膜の色調を測定する色調測定装置を設け、この色調測定装置により測定した色調値Aに基づいて、前記光透過性着色被膜の膜厚Δtを下記の(1)式により求めることを特徴とする膜厚測定方法。Δt=αA+β...(1)ただし、α、βは前記光透過性着色被膜の種類により決まる係数。
IPC (2件):
G01B 11/06 ,  G01J 3/46

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