特許
J-GLOBAL ID：200903065555125801
精密除振装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
一色 健輔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-333119
公開番号（公開出願番号）：特開平9-177872
出願日： 1995年12月21日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：
【要約】【課題】 変位制御精度があまり高くない油圧シリンダなどの大パワーのサーボアクチュエータを用いてミクロン・オーダー以下までテーブルの振動を抑制する。2次や3次の高調波振動成分も確実に抑制する。【解決手段】 設置床3に対して弾性マウント2を介して支持されたテーブル1と、基端部が設置床3に固定されたサーボアクチュエータ4と、弾性マウント2よりはるかに小さなバネ定数であり、サーボアクチュエータ4の先端部とテーブル1とを連結する結合バネ5と、設置床3の振動に感応する振動センサ6aと、テーブル1の振動に感応する振動センサ6bと、サーボアクチュエータの可動部の変位を検出する変位センサ6cと、これら3つのセンサの出力に応じてサーボアクチュエータ4を駆動してテーブル1の振動を抑制するアクティブ制振制御手段(コンピュータ7)と、ベーステーブル1に対して弾性マウント8を介して支持された機器載置テーブル9と、機器載置テーブル9とベーステーブル1とを結合するパッシブ制振機構10とを備える。
請求項（抜粋）：
設置床に対して弾性マウントを介して支持されたベーステーブルと、基端部が前記設置床に固定されたサーボアクチュエータと、前記弾性マウントよりはるかに大きな弾性率であり、前記サーボアクチュエータの先端部と前記ベーステーブルとを連結する結合バネと、前記設置床の振動に感応する振動センサと、前記テーブルの振動に感応する振動センサと、前記サーボアクチュエータの可動部の変位を検出する変位センサと、これら3つのセンサの出力に応じて前記サーボアクチュエータを駆動して前記テーブルの振動を抑制するアクティブ制振制御手段と、前記メインテーブルに対して弾性マウントを介して支持された機器載置テーブルと、この機器載置テーブルと前記ベーステーブルとを結合するパッシブ制振機構とを備えたことを特徴とする精密除振装置。
IPC (3件)：
F16F 15/02
, G05D 19/02
, G12B 9/08
F16F 15/02 A
, G05D 19/02 D
, G12B 9/08 B
