特許

J-GLOBAL ID：200903065556484414

薄膜半導体装置及び反射型表示装置

発明者： 林 久雄
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 晴敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-025728
公開番号（公開出願番号）：特開2002-229061
出願日： 2001年02月01日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
要約：

【要約】【課題】 駆動回路の元々配線に加え、反射膜を構成する金属材料も追加の配線に使うことで、工程数を増加させずに配線の低抵抗化を図る。【解決手段】 薄膜半導体装置は、マトリクス状に配された画素PXLで構成され外部から入射した光を各画素PXL毎に反射する画素アレイ部と、複数の薄膜トランジスタTFTとこれらを接続する第一の配線7とで構成され画素アレイ部を駆動する駆動回路部と、画素アレイ部と駆動回路部とを一体的に形成した絶縁性の基板1とからなる。画素アレイ部は、外部から入射した光を反射する為に金属材料からなる反射膜9を備える、駆動回路部は、反射膜9と同一の金属材料で形成された第二の配線10を含む。第二の配線10は、第一の配線7に積層されている。第二の配線10は、平坦化膜8を介して第一の配線7に積層されており、且つ平坦化膜8に開口したコンタクトホールを介して第一の配線7に電気接続されている。

請求項（抜粋）：

マトリクス状に配された画素で構成され外部から入射した光を各画素毎に反射する画素アレイ部と、複数の薄膜トランジスタとこれらを接続する第一の配線とで構成され該画素アレイ部を駆動する駆動回路部と、該画素アレイ部と該駆動回路部とを一体的に形成した絶縁性の基板とからなる薄膜半導体装置であって、前記画素アレイ部は、外部から入射した光を反射する為に金属材料からなる反射膜を備え、前記駆動回路部は、該反射膜と同一の金属材料で形成された第二の配線を含むことを特徴とする薄膜半導体装置。

IPC (8件)：

G02F 1/1368 ,  G02F 1/13 505 ,  G02F 1/1335 520 ,  G02F 1/1345 ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 349 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 29/786

FI (11件)：

G02F 1/1368 ,  G02F 1/13 505 ,  G02F 1/1335 520 ,  G02F 1/1345 ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 349 D ,  H01L 21/88 A ,  H01L 21/88 M ,  H01L 29/78 612 C ,  H01L 29/78 619 B ,  H01L 29/78 619 A

Fターム (117件)：

2H088EA22 ,  2H088EA27 ,  2H088HA02 ,  2H088HA06 ,  2H088HA08 ,  2H088HA21 ,  2H088MA20 ,  2H091FA14Y ,  2H091GA02 ,  2H091GA11 ,  2H091GA13 ,  2H091GA16 ,  2H091LA30 ,  2H092HA05 ,  2H092JA46 ,  2H092JB24 ,  2H092JB26 ,  2H092JB33 ,  2H092JB35 ,  2H092JB56 ,  2H092NA28 ,  2H092RA10 ,  5C094AA04 ,  5C094AA15 ,  5C094AA43 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA09 ,  5C094DA13 ,  5C094DB01 ,  5C094DB04 ,  5C094EA04 ,  5C094EA06 ,  5C094EB02 ,  5C094ED11 ,  5C094ED13 ,  5C094FA01 ,  5C094FA02 ,  5C094FB12 ,  5C094GB10 ,  5F033GG04 ,  5F033HH08 ,  5F033HH11 ,  5F033HH14 ,  5F033HH18 ,  5F033HH20 ,  5F033JJ01 ,  5F033JJ08 ,  5F033JJ11 ,  5F033JJ14 ,  5F033JJ18 ,  5F033JJ20 ,  5F033KK08 ,  5F033KK11 ,  5F033KK18 ,  5F033KK20 ,  5F033MM05 ,  5F033MM08 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ37 ,  5F033RR04 ,  5F033RR25 ,  5F033SS22 ,  5F033UU04 ,  5F033VV06 ,  5F033VV15 ,  5F033XX05 ,  5F033XX10 ,  5F110AA03 ,  5F110AA16 ,  5F110AA21 ,  5F110BB02 ,  5F110BB04 ,  5F110BB05 ,  5F110CC08 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110EE04 ,  5F110EE28 ,  5F110EE44 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF09 ,  5F110FF29 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG44 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ12 ,  5F110HJ13 ,  5F110HL02 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL06 ,  5F110HL11 ,  5F110HL12 ,  5F110HL23 ,  5F110HM15 ,  5F110HM19 ,  5F110NN02 ,  5F110NN12 ,  5F110NN23 ,  5F110NN27 ,  5F110NN35 ,  5F110NN36 ,  5F110NN41 ,  5F110NN44 ,  5F110NN45 ,  5F110NN46 ,  5F110NN47 ,  5F110NN73 ,  5F110PP03 ,  5F110QQ01 ,  5F110QQ12

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 反射型液晶パネル及び反射型液晶パネルを用いた装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-113549   出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
• 周辺駆動回路内蔵型液晶表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-122736   出願人：松下電器産業株式会社