特許

J-GLOBAL ID：200903065560521324

多孔性研磨体

発明者： 小林 豊
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-295847
公開番号（公開出願番号）：特開2002-103234
出願日： 2000年09月28日
公開日（公表日）： 2002年04月09日
要約：

【要約】【課題】砥粒が極めて良好に分散しており、かつ研磨性能が安定した研磨体を提供すること。【解決手段】マトリックス材および砥粒が分散した水系分散体の固化物を構成成分とし、かつ空隙を有することを特徴とする多孔性研磨体。

請求項（抜粋）：

マトリックス材および砥粒が分散した水系分散体の固化物を構成成分とし、かつ空隙を有することを特徴とする多孔性研磨体。

IPC (5件)：

B24D 3/02 310 ,  B24D 3/02 ,  B24B 37/00 ,  B24D 3/00 340 ,  H01L 21/304 622

FI (5件)：

B24D 3/02 310 A ,  B24D 3/02 310 D ,  B24B 37/00 C ,  B24D 3/00 340 ,  H01L 21/304 622 F

Fターム (17件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AC04 ,  3C058CB05 ,  3C058DA17 ,  3C063AA02 ,  3C063BA22 ,  3C063BB01 ,  3C063BB03 ,  3C063BB04 ,  3C063BC03 ,  3C063BD01 ,  3C063BD05 ,  3C063CC19 ,  3C063EE10 ,  3C063FF20 ,  3C063FF23