特許
J-GLOBAL ID：200903065560897766
測定等用ウェハプローブ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅 隆彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-048741
公開番号（公開出願番号）：特開平5-251521
出願日： 1992年03月05日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：
【要約】【目的】プリント基板やウェハ上の配線パターン表面の絶縁膜を破壊貫通して前記配線パターンと電気的接触可能とする測定用ウェハプローブに於いて、スプリングコンタクトプローブ先端の触端に、圧力を加えると共に加振用圧電素子の交流振動を加えて前記絶縁膜等を貫通破壊して前記配線パターンとの電気的接触を行い、配線パターンや被測定ウェハ自体の損傷を防止すると共に、当該コンタクトピン先端の位置決めも容易ならしめる。【構成】プリント基板や被測定ウェハA上の微細回路配線パターンA1に、スプリングコンタクトプローブ2触端2eを位置決め当接して電圧波形や電圧値を測定したり、あるいは電圧を供給したりする測定用ウェハプローブα,β,ε,ζに於いて、スプリングコンタクトプローブ2の取付基端若しくはスプリングコンタクトプローブ2自体の触端2e寄りに供給電圧調節自在な加振用圧電素子4を取付けて、スプリングコンタクトプローブ2に加振自在としたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
プリント基板やウェハ上の微細回路配線パターンに、スプリングコンタクトプローブ先端を位置決め当接して電圧波形や電圧値を測定したり、あるいは電圧を供給したりする測定等用ウェハプローブに於いて、前記スプリングコンタクトプローブの適宜箇所に供給電圧調節自在な加振用圧電素子を取付けて、当該スプリングコンタクトプローブに加振自在に形成したことを特徴とする測定等用ウェハプローブ
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 1/073
, G01R 31/26
