特許
J-GLOBAL ID:200903065571565870

エンコーダ装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 植本 雅治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-132653
公開番号(公開出願番号):特開平7-318373
出願日: 1994年05月23日
公開日(公表日): 1995年12月08日
要約:
【要約】【目的】 厳密な組付けを必要とせずとも、経年変化に強く、軸ぶれ等の影響をも受けにくいエンコーダ装置を提供する。【構成】 光源1と、光源1からの光が入射する第1番目の回折格子3と、第1番目の回折格子3からの光が入射する第2番目の回折格子4と、スリット状の第3番目の回折格子5と、受光手段6とを有し、第1番目の回折格子3と第2番目の回折格子4とは、互いに協働して所定ピッチの干渉縞を発生させる二重回折格子として機能し、第3番目の回折格子5には、二重回折格子により発生する干渉縞が投影され、第3番目の回折格子5からの出力光量を受光手段6で検知する。
請求項(抜粋):
光源と、光源からの光が入射する第1番目の回折格子と、第1番目の回折格子からの光が入射する第2番目の回折格子と、スリット状の第3番目の回折格子と、受光手段とを有し、前記第1番目の回折格子と前記第2番目の回折格子とは、互いに協働して所定ピッチの干渉縞を発生させる二重回折格子として機能し、前記第3番目の回折格子には、前記二重回折格子により発生する干渉縞が投影され、前記第3番目の回折格子からの出力光量を前記受光手段で検知するようになっていることを特徴とするエンコーダ装置。
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開平3-279812
  • 特開平3-015719
  • 特開平3-015719
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