ベローズポンプのベローズ破損検出機構およびそれを用いた基板処理装置ならびにベローズポンプのベローズ破損検出方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：稲岡耕作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-353589
公開番号（公開出願番号）：特開平11-173271
出願日： 1997年12月22日
公開日（公表日）： 1999年06月29日
要約：

【要約】【課題】ベローズポンプのベローズの破損を迅速、かつ、確実に検出する。【解決手段】制御部CTLは、電磁弁SV2を閉じて圧力センサP1の検出値P1aを取得する。次に、制御部CTLは、電磁弁SVAを切り換え(右位置)、伸長状態のベローズ63の周囲のエア室を形成するシリンダ61にエアを供給し、このときの圧力センサの検出値P1bを取得する。さらに、制御部CTLは、電磁弁SV2を開くことにより、ベローズ64を伸長させる。その後、電磁弁SV1を閉じてベローズ64の伸長状態を保持し、電磁弁SVAを切り換える(左位置)。この状態で、制御部CTRは、圧力センサP1の検出値P1cを取得する。さらに、差圧|P1a-P1b|,|P1a-P1c|が求められ、いずれかの差圧が設定差圧以上であれば、ベローズ63,64のいずれかに破損が生じているものと判断される。

請求項（抜粋）：

ベローズに隣接して設けられたエア室に収容されるエアの圧力によってベローズを駆動させて液体を送出するベローズポンプの上記ベローズの破損を検出するためのベローズ破損検出機構であって、上記ベローズポンプのエア室とエア供給源とを接続するエア供給ラインと、このエア供給ラインに介装され、エア室にエアを供給するために開閉可能なエア供給バルブと、エア供給ラインのエア供給バルブよりもエア供給源側に接続され、エアの圧力を検出する第1エア圧力検出手段とを備えたことを特徴とするベローズポンプのベローズ破損検出機構。

IPC (2件)：

F04B 43/08 , F04B 49/10 331

FI (2件)：

F04B 43/08 A , F04B 49/10 331 A

前のページに戻る