特許

J-GLOBAL ID：200903065577562245

カンチレバー振れセンサ及びその使用方法

発明者： ブルゴワン、ジャン フィリップ、マリ ,  ジョンソン、マシュー、ブルース ,  ミッシェル、ブルーノ
出願人/特許権者： インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン
代理人 (1件)： 合田 潔 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-523916
公開番号（公開出願番号）：特表平9-505899
出願日： 1995年02月07日
公開日（公表日）： 1997年06月10日
要約：

【要約】カンチレバー(220)と第2の表面(230、231)の間のギャップから出る放射線の検出に基づいて、カンチレバー型マイクロメカニカル素子の振れまたはそれに加わる力を測定するための方法及び装置を提示する。カンチレバーと第2の表面を電圧によって適切にバイアスするときに高い周波数で自然に発生する放射線を、外部エネルギー源を使って拡大することができる。また、この新しい方法及び装置は、表面の調査、特にドーパント・プロファイル作成にも利用される。

請求項（抜粋）：

アンテナ手段(261、263、361、461)と、増幅手段(260、262、362〜364、462〜464)と、動作中に前記カンチレバーに直流電圧を印加する手段(250、350、450)とを備え、原子間力顕微鏡(AFM)の柔軟なカンチレバー(220、320、420)に加わる力またはその振れを測定するための装置。

IPC (2件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30

FI (2件)：

G01N 37/00 G ,  G01B 21/30 Z

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平4-361110