特許
J-GLOBAL ID：200903065578493751
真空チャックの吸着板
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-180265
公開番号（公開出願番号）：特開平8-047835
出願日： 1994年08月01日
公開日（公表日）： 1996年02月20日
要約：
【要約】【目的】 多孔質体で形成され、切削加工により吸着面が形成される吸着板の吸着面の平坦度を向上することができる真空チャックの吸着板を提供することにある。【構成】 平均粒子径が100μmである三フッ化樹脂粒子材から製造された多孔質体である焼結三フッ化樹脂にて吸着板1を形成し、この吸着板1の外周部にシリコンゴム5を吸引により注入して非通気層2を形成した。この非通気層2の吸着板1の径方向の長さは約100μmとした。シリコンゴム5のヤング率は焼結三フッ化樹脂のヤング率のほぼ100分の1である。この吸着板1の吸着面側を平面切削して吸着面1aを形成する。
請求項（抜粋）：
表裏両面に連通する多数の透孔を有する多孔質体にて形成された吸着板(1)の外周部に封止材料(5)を注入して空気の流通を遮断する非通気層(2)を形成し、吸着板(1)の一方の面から空気を吸引することにより他方の面に被吸着物を吸着する真空チャックの吸着板において、封止材料(5)のヤング率を、形成した非通気層(2)のヤング率が多孔質体のヤング率とほぼ同等になるように、多孔質体のヤング率に対して十分小さなヤング率とした真空チャックの吸着板。
IPC (3件)：
B23Q 3/08
, H01L 21/68
, C08J 9/24 CEW
