特許
J-GLOBAL ID：200903065585748579
表面に微細凹凸形状をもつ光学素子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野口 繁雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-145094
公開番号（公開出願番号）：特開2008-299084
出願日： 2007年05月31日
公開日（公表日）： 2008年12月11日
要約：
【課題】耐環境性、信頼性及び長期安定性に優れた光学素子を安価に製造できるようにし、フィリングファクタも大きくできるようにする。【解決手段】光学素子のサブ波長構造で無機材料からなるものを以下の工程(A)から(D)を含んで製造する。 (A)基板表面に形状転写可能な樹脂層を形成する工程、 (B)サブ波長構造と同じ構造をもつ金型を前記樹脂層に押し当てて金型のサブ波長構造を反転したサブ波長構造を前記樹脂層に転写する工程を含んで、基板表面に金型のサブ波長構造の凹部に対応する凸部からなる前記樹脂によるサブ波長構造を形成する工程、 (C)前記表面に粘度が200mPa・s以下の無機又は有機・無機複合のゾル-ゲル材料を塗布して前記樹脂によるサブ波長構造の凹部を埋め、その後、塗布されたゾル-ゲル材料を硬化させる工程、 (D)基板表面から前記樹脂を除去して硬化したゾル-ゲル材料によるサブ波長構造を前記基板表面に残す工程。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
無機材料からなる透明基板の少なくとも一方の表面に無機材料からなり使用する波長よりも小さい周期の矩形波形状のサブ波長構造を有する光学素子を製造する方法において、
前記サブ波長構造を以下の工程(A)から(D)を含んで製造することを特徴とする光学素子の製造方法。
(A)前記基板表面に形状転写可能な樹脂層を形成する工程、
(B)前記サブ波長構造と同じ構造をもつ金型を前記樹脂層に押し当てて前記金型のサブ波長構造を反転したサブ波長構造を前記樹脂層に転写する工程を含んで、前記基板表面に前記金型のサブ波長構造の凹部に対応する凸部からなる前記樹脂によるサブ波長構造を形成する工程、
(C)前記基板表面に粘度が200mPa・s以下の無機又は有機・無機複合のゾル-ゲル材料を塗布して前記樹脂によるサブ波長構造の凹部を埋め、その後、塗布された無機ゾル-ゲル材料を硬化させる工程、
(D)前記基板表面から前記樹脂を除去して硬化したゾル-ゲル材料によるサブ波長構造を前記基板表面に残す工程。
IPC (3件)：
G02B 5/30
, G11B 7/135
, G02B 5/18
G02B5/30
, G11B7/135 A
, G02B5/18
2H049AA03
, 2H049AA13
, 2H049AA31
, 2H049AA33
, 2H049AA57
, 2H049AA60
, 2H049AA65
, 2H049BA06
, 2H049BA07
, 2H049BA45
, 2H049BC01
, 2H049BC08
, 2H049BC21
, 2H049BC22
, 2H249AA03
, 2H249AA13
, 2H249AA31
, 2H249AA33
, 2H249AA57
, 2H249AA60
, 2H249AA65
, 5D789AA32
, 5D789AA38
, 5D789AA40
, 5D789BA01
, 5D789JA31
, 5D789NA05
出願人引用 (2件)
審査官引用 (5件)
全件表示
前のページに戻る
