特許
J-GLOBAL ID：200903065593328830
磁気式変位検出装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-335522
公開番号（公開出願番号）：特開平11-166802
出願日： 1997年12月05日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：
【要約】【課題】 磁界検出部(センサ)10を挟んだ状態で2個の磁界発生手段(永久磁石)15,16が設けられ、磁界検出部10と磁界発生手段15,16との絶対変位量を検出する磁気式変位検出装置において、変位-磁場特性のリニアリティーを向上させ、高精度の検出を可能とする。【解決手段】 2個の磁界発生手段15と16を、高透磁率材料(例えばパーマロイ)によりなる接続板19,20によって接続した構造とする。
請求項（抜粋）：
励振駆動することで磁界の強さによりインピーダンスが変化する高透磁率材料からなるセンサを有する磁界検出部と、磁界を発生する手段を有する被検出部と、前記センサを励振駆動するための発振回路部と、前記センサから出力信号を取り出すための検出回路部と、を備え、前記出力信号により前記磁界検出部と前記被検出部との絶対変位量を検出するようにした磁気式変位検出装置において、前記被検出部に、2個の磁界発生手段が、磁化の方向を相互に反対に向けた状態で、前記磁界検出部との相対移動方向に沿って、前記センサを挟んで相互に離隔して配置されていると共に、高透磁率材料によって接続されていることを特徴とする磁気式変位検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 7/00 D
, G01D 5/20 S
