特許
J-GLOBAL ID：200903065593691543
干渉測定装置および干渉測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
増田 達哉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-338189
公開番号（公開出願番号）：特開平7-234173
出願日： 1994年12月26日
公開日（公表日）： 1995年09月05日
要約：
【要約】【構成】干渉測定装置1aは、フィゾー型干渉計2aと、撮像部11と、画像処理装置12と、演算手段13と、モニター装置14と、データ専用メモリー15とを有している。前記干渉計2aは、光源3と、対物レンズ4と、コリメートレンズ5と、ハーフミラー6と、原器レンズ7と、駆動手段711と、移動手段9と、調整量制御手段43と、観測レンズ10とを有している。予め基準被検物80の干渉測定を行い、収差の補正量を求めておく。そして被検物の干渉測定では、干渉縞解析により得られた値を波面収差を表わす近似多項式に展開し、各項に相当する値を求め、前記補正量に基づき、測定した収差を補正する。【効果】被検物の干渉測定において、ディフォーカスおよびティルトがある場合でも高精度の測定を行なうことができる。
請求項（抜粋）：
光源からの光を二つに分割して一方を参照面からの参照光とし、他方を被検物からの被検光とし、前記参照光と前記被検光とを重ね合わせて干渉縞を得るとともに、前記干渉縞に基づいて前記参照光と前記被検光との間の位相差を検出する干渉測定装置であって、前記干渉縞を、前記位相差を特定する近似多項式に展開し、被検領域に入射または被検領域から出射する有効な光束の開口数に基づいて、前記近似多項式の各項の係数に相当する値を求める第1の手段と、基準被検物の前記干渉測定装置に対する相対位置に設定誤差を与えた状態で、設定誤差量を変化させて少なくとも2回の干渉測定を行ない、前記第1の手段により得られた前記基準被検物の測定値に基づいて、収差の補正量を求める第2の手段と、被検物の干渉測定において、前記補正量に基づき、前記第1の手段により得られた前記被検物の測定値を補正する第3の手段とを有することを特徴とする干渉測定装置。
IPC (3件)：
G01M 11/02
, G01B 9/02
, G01B 11/24
