特許

J-GLOBAL ID：200903065595111293

液体試料の自動連続分析のための装置

発明者： ディートリヒ ロッシャー ,  ホルガー クリングナー ,  ペーター ホイン ,  ノルベルト ゲベルト
出願人/特許権者： フェルメス ミクロテヒニク ゲーエムベーハー
代理人 (1件)： 西教 圭一郎 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-323606
公開番号（公開出願番号）：特開平10-185929
出願日： 1997年11月25日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：

【要約】【解決手段】 膜ポンプと混合チャンバと連結溝とを共に配置し、一定の試薬を混合して液体試料を自動的に連続して分析する装置および異方性エッチング液により作成された構造物を用いて100方位シリコンウェハ上の固有のセンサによる反応結果の評価。台形の横断面を持つポンプチャンバの前後には、直接V字形または台形の断面を持つ、非線形の流体抵抗を示す溝がある。

請求項（抜粋）：

ミクロポンプと混合チャンバと反応器とセンサとを用いて種々の試薬を混合して、液体試料を自動的に連続して分析する装置において、ミクロポンプ(1)と混合チャンバ(5)反応溝(8)と連結溝(14)(15)(17)は共に、結晶格子構造100方位のシリコンウェハ(2)に配置され、その構造は異方性エッチングによって作られ、ポンプチャンバ(13)のひとつまたは複数の流入溝(14)の流体に作用する横断面は、このポンプチャンバ(13)からの流出溝(15)の流体に作用する横断面とは異なり、シリコンウェハ(2)は被覆層(18)によって閉じられていることを特徴とする装置。