特許

J-GLOBAL ID：200903065596613144

薄膜体

発明者： 中西 秀文 ,  小林 真人 ,  吉野 幸夫
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 西澤 均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-026086
公開番号（公開出願番号）：特開平9-199969
出願日： 1996年01月19日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】【課題】 耐食性、特に洗浄工程やダイシング工程などの水と接触する工程における耐湿性を含む耐食性に優れた薄膜体を提供する。【解決手段】 単結晶基板上に、薄膜材料を結晶方位的に(111)面に配向するように成長させる。また、単結晶基板1として、タンタル酸リチウム(LiTaO3)、ニオブ酸リチウム(LiNbO3)、シリコン(Si)、サファイア、水晶、ガリウム砒素(GaAs)からなる群より選ばれる少なくとも1種を構成材料とする基板を用いる。さらに、薄膜材料として、アルミニウム(Al)又はアルミニウムと他の金属(Ti、Pd、Cu、Ni、Cr、Mg、Siなど)との合金を用いる。

請求項（抜粋）：

単結晶基板上に、薄膜材料を結晶方位的に(111)面に配向するように成長させたものであることを特徴とする薄膜体。

IPC (7件)：

H03H 3/08 ,  C30B 29/52 ,  G02B 6/12 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H01L 29/40 ,  H03H 9/145

FI (8件)：

H03H 3/08 ,  C30B 29/52 ,  H01L 21/203 Z ,  H01L 21/205 ,  H01L 29/40 A ,  H03H 9/145 D ,  H03H 9/145 Z ,  G02B 6/12