特許
J-GLOBAL ID：200903065601398141
ウェハキャリア
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮田 金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-040570
公開番号（公開出願番号）：特開平11-238790
出願日： 1998年02月23日
公開日（公表日）： 1999年08月31日
要約：
【要約】【課題】 反りを発生することなくウェハを支持することが可能なウェハキャリアを提供する。【解決手段】 搬送手段により移し替えられるウェハ10の下面を支持しウェハ10が挿入される側に所定の幅と奥行きの切り欠き7が形成された板状の支持部材6を所定の間隔を介して複数段配設する。
請求項（抜粋）：
搬送手段により移し替えられるウェハの下面を支持し上記ウェハが挿入される側に所定の幅と奥行きの切り欠きが形成された板状の支持部材を所定の間隔を介して上下に複数段配設したことを特徴とするウェハキャリア。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 V
, B65D 85/38 R
