特許

J-GLOBAL ID：200903065604053714

光学式三次元形状計測装置

発明者： 堀 健治
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-259057
公開番号（公開出願番号）：特開平8-101024
出願日： 1994年09月29日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：

【要約】【目的】 広い範囲の表面領域について迅速且つ高精度に形状測定することが可能な光学式三次元形状計測装置を提供すること。【構成】 本発明の光学式三次元形状計測装置は、被検物の表面に所定のパターン像を投影するための照射光学系と、前記被検物の表面に投影されたパターン像を観察するための観察光学系とを備え、前記所定のパターン像と前記観察されたパターン像との相違に基づいて前記被検物の表面形状を計測する光学式三次元形状計測装置において、前記照射光学系および前記観察光学系は共通の対物光学系を有し、前記照射光学系から前記被検物の表面への光路と前記被検物の表面から前記観察光学系への光路とを互いに独立に規定するために前記対物光学系の瞳面の波面分割手段を備えている。

請求項（抜粋）：

被検物の表面に所定のパターン像を投影するための照射光学系と、前記被検物の表面に投影されたパターン像を観察するための観察光学系とを備え、前記所定のパターン像と前記観察されたパターン像との相違に基づいて前記被検物の表面形状を計測する光学式三次元形状計測装置において、前記照射光学系および前記観察光学系は共通の対物光学系を有し、前記照射光学系から前記被検物の表面への光路と前記被検物の表面から前記観察光学系への光路とを互いに独立に規定するために前記対物光学系の瞳面の波面分割手段を備えていることを特徴とする光学式三次元形状計測装置。