特許
J-GLOBAL ID：200903065609221623
超微粒子発光素子及びその製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-360515
公開番号（公開出願番号）：特開平5-206515
出願日： 1991年12月27日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：
【要約】【目的】 粒径が小さく、しかも均一性の良好な超微粒子を提供する。【構成】 反応容器8内へ導入した原料ガスGに向けてレーザ光L1を照射し、ブレークダウン現象により超微粒子を製造する。レーザ光L1のエネルギを受けた原料ガスは解離して活性化し、煙状に舞い上がりながら凝集する。この時、粒径の小さな超微粒子は横方向及び上方へ舞い上がった後に沈降するので、レーザ光L1の集光位置P以上の高さに設置した超微粒子採集手段38としての棚40,40Aに載置した基板42上には粒径が小さく且つ均一性の良好な超微粒子Bが採集されることになる。
請求項（抜粋）：
反応容器内へ導入した超微粒子用の原料ガスにレーザ光を照射して超微粒子を形成する超微粒子製造装置において、前記反応容器内に、粒径の比較的均一な超微粒子を採集すべく前記レーザ光の集光位置以上の高さに超微粒子採集手段を設けるように構成したことを特徴とする超微粒子製造装置。
IPC (2件)：
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