特許

J-GLOBAL ID：200903065610177816

キャリア及びCMP装置

発明者： 王 序進 ,  鶴岡 和之 ,  田中 秀男
出願人/特許権者： スピードファム・アイペック株式会社
代理人 (1件)： 塚原 孝和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-100636
公開番号（公開出願番号）：特開2000-288923
出願日： 1999年04月07日
公開日（公表日）： 2000年10月17日
要約：

【要約】【課題】 スラリ等の汚れの付着がない高品質なワークを提供することができると共に装置稼働率を向上させることができるキャリア及びCMP装置を提供する。【解決手段】 キャリア1をハウジング10とキャリアベース11とプレッシャプレート12とリテーナリング13とリング部材14とで構成し、リング部材14の内側に圧力室Rを画成した。そして、リング部材14を軟質リングシート15と面粗さが小さな硬質リングシート16との二層構造にすると共に、リング部材14の外周面がリテーナリング13の内周面と当接するように、リング部材14の外径を設定し、リテーナリング13とリング部材14とウエハWとで囲まれる空間を狭くした。これにより、リング部材14下面とウエハW外周部間が層流状態になり、また、リテーナリング13とリング部材14とウエハWとで囲まれた空間に流出した空気に乱流が発生することもない。

請求項（抜粋）：

ワークと対向する下面に開口した流体通路を有するキャリア本体と、このキャリア本体の外周部に設けられたリテーナリングと、上記キャリア本体の下面の外周部に取り付けられ且つ上記ワークとの接触時に、上記流体通路の開口と連通した圧力室を上記下面と共に画成するリング部材とを具備するキャリアであって、上記リング部材を、上記ワークの凹凸に追従して変形可能な柔軟性部材と、この柔軟性部材の下面に設けられ且つ可撓性を有した面粗さが小さな平滑性部材との二層構造にすると共に、このリング部材の外径を上記リテーナリングの内径と略等しく設定した、ことを特徴とするキャリア。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/04 E ,  H01L 21/304 622 K

Fターム (13件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AA12 ,  3C058AB04 ,  3C058AB06 ,  3C058AC04 ,  3C058BA05 ,  3C058BB04 ,  3C058BC01 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17