特許

J-GLOBAL ID：200903065612688249

吸着支持装置

発明者： 鈴木 啓一郎 ,  山崎 隆史
出願人/特許権者： 日産自動車株式会社
代理人 (3件)： 橋本 剛 ,  小林 博通 ,  富岡 潔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-300992
公開番号（公開出願番号）：特開2005-138276
出願日： 2004年10月15日
公開日（公表日）： 2005年06月02日
要約：

【課題】コンパクトな構造でありながらも、万が一負圧が断たれた場合に従来と同等のワーク落下防止機能を発揮する吸着支持装置を提供する。 【解決手段】先端に吸着パッド7が装着されたパッドユニット6のハウジング8内にはピストン11と一体のマグネット13が配置されている。負圧室12に負圧が作用している状態では、その負圧が吸着パッド7内にも作用してワークWを吸着支持している。万が一負圧が断たれると、負圧室12内のコイルばね14により瞬時にマグネット13がバックアップ位置Pから下降して、ワークWを負圧に代わり吸着支持する。 【選択図】図4

請求項（抜粋）：

吸着パッドを吸着支持対象となる磁性体製のワークに押し付けながらその吸着パッド内に負圧を発生させて、その負圧吸引力をもってワークを吸着支持するようにした吸着支持装置であって、 吸着パッドがワークを吸着支持している状態ではそのワークから所定距離離れたバックアップ位置に保持されている一方で、吸着パッドによるワークの吸着支持状態においてその負圧吸引力が予期せずに低下したたときには直ちに負圧吸引力に代わってワークを吸着支持するマグネットを吸着パッドの内部に設けたことを特徴とする吸着支持装置。

IPC (1件)：

B25J15/06

FI (2件)：

B25J15/06 S ,  B25J15/06 G

Fターム (5件)：

3C007AS23 ,  3C007FS03 ,  3C007FS08 ,  3C007FU02 ,  3C007GU03

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 落下防止機能付ウェーハ吸着搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-334473   出願人：株式会社東京精密