特許
J-GLOBAL ID:200903065614586044

高純度金属リン化物多結晶体及びその合成方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 明田 莞
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-293747
公開番号(公開出願番号):特開2000-119011
出願日: 1998年10月15日
公開日(公表日): 2000年04月25日
要約:
【要約】【課題】 化学量論的組成からのずれの少ない組成を有する高純度金属リン化物多結晶体及びその合成方法を提供する。【解決手段】 リン4、金属3、及び、水分含有量:0.5 〜20質量%の酸化ホウ素2Aをるつぼ1中に充填し、これを炉内にて酸化ホウ素2Aが軟化流動状態となる温度TM1〜400 °Cに不活性ガスを流した開放系で昇温させ、次いで炉内に不活性ガスを金属3とリン4の反応開始温度TRSでの炉内圧力PRSがTRSでのリンの蒸気圧超となるような圧力P1 で導入し、リン4、金属3及び酸化ホウ素2AをTRSまで昇温させ、金属3とリン4とを反応させて高純度金属リン化物多結晶体を合成することを特徴とする高純度金属リン化物多結晶体の合成方法、及び、かかる合成方法によって合成されてなる高純度金属リン化物多結晶体。
請求項(抜粋):
リン、金属、及び、水分含有量:0.5 〜20質量%の酸化ホウ素をるつぼ中に充填し、高圧炉内に配する配置工程と、該配置工程の後、前記リン、金属及び酸化ホウ素を、該酸化ホウ素が軟化流動状態となる温度(TM1)以上、400 °C以下の温度まで、不活性ガスを流した開放系で昇温させる昇温工程と、該昇温工程の後、前記高圧炉内に不活性ガスを、前記金属とリンとの反応開始温度(TRS)での高圧炉内の圧力(PRS)が該反応開始温度(TRS)でのリンの蒸気圧超となるような圧力(P1)で導入し、前記リン、金属及び酸化ホウ素を該金属とリンとの反応開始温度(TRS)まで昇温させ、該金属とリンとを反応させて高純度金属リン化物多結晶体を合成する高圧下合成工程とを有することを特徴とする高純度金属リン化物多結晶体の合成方法。

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