特許
J-GLOBAL ID：200903065618153479
角速度センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-255612
公開番号（公開出願番号）：特開平7-110337
出願日： 1993年10月13日
公開日（公表日）： 1995年04月25日
要約：
【要約】【目的】 広い温度範囲で温度特性に優れかつ安価な角速度センサ装置を提供することを目的とする。【構成】 検知軸に沿って互いに平行になるように構成された第1,第2の振動ユニット41,51と、第1,第2の振動ユニット41,51の同一平面上に第1,第2の駆動用素子43,53と第1,第2の検知用素子45,46,55,56とをそれぞれ配置した構成としこの同一平面にしたことにより、広い温度特性に優れた角速度センサを提供できる。
請求項（抜粋）：
検知軸に沿って互いに平行になるように構成された第1,第2の振動ユニットと、前記第1,第2の振動ユニットの表面か裏面のどちらか一方の同一平面上に第1,第2の駆動用素子と第1,第2の検知用素子をそれぞれ配置することを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件)：
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