特許
J-GLOBAL ID：200903065618918645
複数線源観察装置および加工装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
岡田 守弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-126653
公開番号（公開出願番号）：特開平7-335166
出願日： 1994年06月08日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、複数の鏡筒を持った複数線源観察装置および加工装置に関し、複数の線源から試料を照射して発生する信号を検出し、複数の試料の面の状態を画面上にリアルタイムに表示して観察したり、1方の線源で試料を加工および他方の線源で試料を観察したり、更に、任意の角度の立体像を簡易に観察したりすることを目的とする。【構成】 線源からの荷電粒子のビームを試料2に対して異なる角度から照射して走査する鏡筒1を複数設け、各鏡筒1によってビームを試料2に照射したことに対応して発生した信号を検出する1つの検出器4あるいは複数の検出器4と、1つの検出器4あるいは複数の検出器4によって検出された信号をもとに試料2の画像を1つの画面上に分割してそれぞれ表示あるいは複数の画面上にそれぞれ表示させる表示制御装置9とを備えるように構成する。
請求項（抜粋）：
線源からの荷電粒子のビームを試料(2)に対して異なる角度から照射して走査する鏡筒(1)を複数設け、各鏡筒(1)によってビームを試料(2)に照射したことに対応して発生した信号を検出する1つの検出器(4)あるいは複数の検出器(4)と、1つの検出器(4)あるいは複数の検出器(4)によって検出された信号をもとに試料(2)の画像を1つの画面上に分割してそれぞれ表示あるいは複数の画面上にそれぞれ表示させる表示制御装置(9)とを備えたことを特徴とする複数線源観察装置。
IPC (4件)：
H01J 37/22 502
, H01J 37/22
, G21K 5/04
, H01J 37/30
