特許

J-GLOBAL ID：200903065620198757

レーザ加工装置用レンズカバー

発明者： 出雲 正雄 ,  八木 俊憲
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-237814
公開番号（公開出願番号）：特開平8-099187
出願日： 1994年09月30日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：

【要約】【目的】 この発明は、転写レンズのレンズ面の汚れを低減でき、転写レンズの解像度を高めることができるレーザ加工装置用レンズカバーを得ることを目的とする。【構成】 レンズ保持体10には転写レンズ3が保持されている。このレンズ保持体10には、転写レンズ3から被加工物4に至るレーザビーム1の光路の側方を覆うように筒状のフード11が螺合されて取り付けられている。このフード11の先端側には、レンズ絞り12が螺合されて取り付けられている。そして、マスク2のパターン2aを通過したレーザビーム1は、転写レンズ3を介して被加工物4上に集光照射され、パターン2aが被加工物4上に転写される。

請求項（抜粋）：

マスクを通過したレーザビームを転写レンズを介して被加工物上に照射し、前記マスク上に形成された開口パターンを前記被加工物上に転写するレーザ加工装置のレンズカバーであって、前記転写レンズを保持するレンズ保持体と、前記転写レンズから前記被加工物に至る前記レーザビームの光路の側方を覆うように前記レンズ保持体に設けられた筒状のフードと、前記フードの先端部に設けられたレンズ絞りとを備えたことを特徴とするレーザ加工装置用レンズカバー。

IPC (4件)：

B23K 26/06 ,  B23K 26/14 ,  G02B 7/02 ,  G03B 11/04

引用特許：

審査官引用 (2件)

• レーザ加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-112504   出願人：三菱電機株式会社
• 特開平2-284785