特許

J-GLOBAL ID：200903065623121526

情報記録媒体の製造装置

発明者： 左近 祐之 ,  田辺 一正
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-055789
公開番号（公開出願番号）：特開2000-251252
出願日： 1999年03月03日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】 基板の移送が滑らかで、正確に位置付けることができ、このため均質な機能層が形成され高密度記録の可能な情報記録媒体を製造し得る装置の提供。【解決手段】 基板上に複数の機能層を積層して情報記録媒体を製造する装置において、各処理を行なう複数の処理室と該処理室に連設された基板を回送する回転室とを有し、回転室には、周囲に基板を支持する基板支持具が周方向に所定間隔をおいて複数装着され、間歇的に所定角度回転する回転台と、該回転台を回転し、かつ、前後進の案内を行なう案内杆と、回転台を前後進させるボールスクリューが配設されると共にボールスクリューがステンレススチールで形成されてなることを特徴とする情報記録媒体の製造装置。

請求項（抜粋）：

基板上に複数の機能層を積層して情報記録媒体を製造する装置において、各処理を行なう複数の処理室と該処理室に連設された基板を回送する回転室とを有し、回転室には、周囲に基板を支持する基板支持具が周方向に所定間隔をおいて複数装着され、間歇的に所定角度回転する回転台と、該回転台を回転し、かつ、前後進の案内を行なう案内杆と、回転台を前後進させるボールスクリューが配設されると共にボールスクリューがステンレススチールで形成されてなることを特徴とする情報記録媒体の製造装置。

Fターム (4件)：

5D112AA24 ,  5D112FA01 ,  5D112FB21 ,  5D112KK02