特許
J-GLOBAL ID：200903065628975078
電子放出素子及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-015628
公開番号（公開出願番号）：特開平5-211029
出願日： 1992年01月31日
公開日（公表日）： 1993年08月20日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、電子放出素子及びその製造方法に関し、電子放出を行う針状カソード電極の密度を高くすることにより単位面積当りの電子放出量を大きくすることができる電子放出素子及びその製造方法を提供することを目的とする。【構成】 Al表面層を含む金属積層膜のAl膜が陽極酸化されて微細孔を有するAl陽極酸化膜が形成され、該Al陽極酸化膜の微細孔内に電解析出により円柱状電極が形成されてなるように構成する。
請求項（抜粋）：
Al表面層を含む金属積層膜のAl膜が陽極酸化されて微細孔を有するAl陽極酸化膜が形成され、該Al陽極酸化膜の微細孔内に電解析出により円柱状電極が形成されてなることを特徴とする電子放出素子。
IPC (2件)：
引用特許：
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