プラズマ放電セル

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木晴敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-059665
公開番号（公開出願番号）：特開平6-251717
出願日： 1993年02月24日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：

【要約】【目的】プラズマ放電セルにおいてストライプ状プラズマチャネルの全長に渡ってプラズマ放電を均一化及び安定化する。【構成】プラズマ放電セル2は、一方の基板7と、その表面にストライプ状にパタニングされた放電電極8と、該一方の基板7に対して所定の空間13を介し接合した他方の基板3と、該空間13に封入されたイオン化可能なガスとを備えている。各放電電極8に沿ってバリアリブ11が形成されており、空間13を分割して、ストライプ状のプラズマチャネルを構成する。放電電極8は、内部導体層9と表面抵抗体層10を含む積層構造を有している。表面抵抗体層10は負荷抵抗として機能し自己バイアス効果によりプラズマ放電を均一化及び安定化する。場合によっては、内部導体層9と表面抵抗体層10の間に中間絶縁体層を介在させても良い。この場合、表面抵抗体層10は中間絶縁体層に設けられたコンタクトホールを介して内部導体層9に電気接続される。

請求項（抜粋）：

一方の基板と、その表面にストライプ状にパタニングされた放電電極と、該一方の基板に対して所定の空間を介し接合した他方の基板と、該空間に封入されたイオン化可能なガスとを備えたプラズマ放電セルであって、前記放電電極は、内部導体層と表面抵抗体層を含む積層構造である事を特徴とするプラズマ放電セル。

IPC (5件)：

H01J 17/04 , G02F 1/1333 , G09G 3/20 , H01J 17/49 , G02F 1/133 505

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-272635
特公昭43-000279
特開平3-283334

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