特許
J-GLOBAL ID：200903065639224970
欠陥検出方法およびその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-068825
公開番号（公開出願番号）：特開平7-208959
出願日： 1994年04月06日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【目的】 明度差微小欠陥を検出して、無地の被検査物または繰り返しパターンを有する被検査物の良否を正確に判定する。【構成】 トラッキングデータ作成過程では、被検査物1に応じたM行N(M,Nは自然数)列の明度分布データの第m(mはM以下の自然数)行目の平均値(平均明度)がトラッキングデータの第m行第1列目の要素とされ、トラッキングデータの第m行第n(nはN以下の自然数)列目の要素が、トラッキングデータの第m行第n-1列目の要素と、明度分布データの第m行第n列目の要素とに応じて作成される。欠陥判定過程では、明度分布データの各要素が順に検査され、明度分布データとトラッキングデータとの明度差を表す検出用データに基づいて欠陥が検出され、被検査物1の良否が判定される。
請求項（抜粋）：
被検査物を撮影して得られるM行N(M,Nは自然数)列の画像データの明度分布を表す明度分布データに基づいて、前記被検査物の欠陥を検出する欠陥検出方法において、第m(mはM以下の自然数)行目の明度分布データの平均明度を第m行第1列目のトラッキングデータとし、第m行第n-1列目のトラッキングデータと第m行第n列目の明度分布データとに基づいて、第m行第n(nは2以上N以下の整数)列目のトラッキングデータを作成するトラッキングデータ作成過程と、該トラッキングデータ作成過程に後続し、第1行第1列目、第1行第2列目、...、第M行第N列目の画像データを順に検査する過程であって、明度分布データと該明度分布データに対応するトラッキングデータとの明度差の分布に基づいて欠陥部分を検出し、前記被検査物の良否を判定する欠陥判定過程とからなることを特徴とする欠陥検出方法。
IPC (2件)：
前のページに戻る
