特許
J-GLOBAL ID：200903065642152491
プローバ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-335761
公開番号（公開出願番号）：特開平10-177037
出願日： 1996年12月16日
公開日（公表日）： 1998年06月30日
要約：
【要約】【課題】プローバの触針を被検査物の被検査点に位置合わせする際に、位置合わせが容易で、触針の被検査点への押圧力を安定させることが可能なプローバを提供する。【解決手段】電極パッドPに対向させた触針4を電極パッド4に接触させて電極パッド4と検査装置とを電気的に接続するプローバ1であって、触針4を電極パッド4に向けて駆動し、触針4を一定の力で電極パッドPに押圧する駆動手段コイル6を有するものとした。
請求項（抜粋）：
被検査物に対向させた触針を前記被検査物の被検査点に接触させて被検査点と検査装置とを電気的に接続するプローバであって、前記触針を前記被検査点に向けて駆動し、当該触針を一定の力で前記被検査点に押圧する駆動手段を有するプローバ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/06 D
, H01L 21/66 B
