特許
J-GLOBAL ID：200903065649056714
ウエハ表面の保護粘着テープの貼り付け状態検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-124749
公開番号（公開出願番号）：特開平5-144911
出願日： 1991年04月25日
公開日（公表日）： 1993年06月11日
要約：
【要約】【目的】 ウエハ表面に貼付けられた保護粘着テープの貼付け状態の検査精度を向上させる。【構成】 ウエハWを加熱するヒーティングテーブル7と、ウエハWを所要時間加熱した後に赤外線カメラ10の撮影をスタートさせる機器制御部14と、デジタル化された赤外線画像からウエハWの表面に密着していない保護粘着テープ部分の面積を求めて貼付け状態の良否判定を行う画像処理部25とを備え、ウエハWの表面から放出される赤外線量という一次的な量を用いて貼付け状態の検査を行う。
請求項（抜粋）：
保護粘着テープが表面に貼付けられたウエハを所要時間加熱し、加熱されたウエハの表面を赤外線カメラで撮影し、前記撮影画像から保護粘着テープとウエハとが密着していない部分の面積を求め、これを基準値と比較して貼付け状態の良否を判定することを特徴とするウエハ表面の保護粘着テープの貼り付け状態検査方法。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 31/26
, H01L 21/78
