特許
J-GLOBAL ID：200903065649216100
薬液ノズルおよび薬液処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-317281
公開番号（公開出願番号）：特開平7-136566
出願日： 1993年11月24日
公開日（公表日）： 1995年05月30日
要約：
【要約】【目的】 衝撃力のない均一でソフトな液膜を作成し、均一で精度の高いパターンを得ることができる薬液ノズルを提供すること、および、ゴミ欠陥のない高品質の薬液処理を行う薬液ノズルを提供することである。【構成】 薬液をガイドする曲面を備えたコアを、薬液入力口を備えたハウジングに係合して円筒状のギャップを形成したこと、および、コアの薬液流出面と被処理基板上面の間隔が20mm以下であることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
薬液をガイドする曲面を備えたコアを、薬液入力口を備えたハウジングに係合して円筒状のギャップを形成したことを特徴とする薬液ノズル。
IPC (3件)：
B05C 5/00
, B05B 1/06
, B05D 1/30
