特許

J-GLOBAL ID：200903065656025476

ドライフィルムレジスト

発明者： 串 憲治 ,  小田 雅春 ,  藤原 匡之 ,  大谷 博行
出願人/特許権者： 三菱レイヨン株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-020401
公開番号（公開出願番号）：特開平6-236028
出願日： 1993年02月08日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：

【要約】【構成】 支持フィルム18に硬化性組成物層16が形成されてなるドライフィルムレジスト10において、硬化性組成物層が少なくとも第1硬化性組成物層12と第2硬化性組成物層14を含む2種以上からなり、支持フィルムから第2硬化性組成物層よりも遠い位置にある前記第1硬化性組成物層がチオキサントン系の光重合開始剤を含有し、第2硬化性組成物層がチオキサントン系以外の光重合開始剤を含有する。【効果】 第1硬化性組成物層によって感度を高め、第2硬化性組成物層によって第1硬化性組成物層とはんだめっきが接触することを防ぎ、はんだめっきにチオキサントン系光重合開始剤による悪影響が及ぼされることを防止する。

請求項（抜粋）：

支持フィルムに硬化性組成物層が形成されてなるドライフィルムレジストにおいて、硬化性組成物層が少なくとも第1硬化性組成物層と第2硬化性組成物層を含む2種以上からなり、支持フィルムから第2硬化性組成物層よりも遠い位置にある前記第1硬化性組成物層がチオキサントン系の光重合開始剤を含有し、前記第2硬化性組成物層がチオキサントン系以外の光重合開始剤を含有することを特徴とするドライフィルムレジスト。

IPC (4件)：

G03F 7/004 512 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/095 ,  H05K 3/18