特許
J-GLOBAL ID：200903065656302267
弾性表面波素子とその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏谷 昭司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-009000
公開番号（公開出願番号）：特開平7-221578
出願日： 1994年01月31日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 弾性表面波素子とその製造方法に関し、小型、軽量化が可能で、高い耐電力性を有するバンドパスフィルタ等の弾性表面波素子を提供する。【構成】 圧電体ウェハ表面に櫛型電極を形成するための金属膜を形成した後、この圧電体ウェハ裏面に伸長しようとする応力を有する被膜を形成し、金属膜をパターニングして櫛型電極を形成することによって、圧電体ウェハ表面の櫛型電極に圧縮応力をかけて耐電力性を向上させる。または、圧電体ウェハ表面に櫛型電極を形成するための金属膜を形成し、この金属膜をパターニングして櫛型電極を形成した後、この櫛型電極の上に収縮しようとする応力を有する被膜を絶縁して形成することによって、圧電体ウェハ表面の櫛型電極に圧縮応力をかけて耐電力性を向上させる。上記の2つの手段を併用することもできる。
請求項（抜粋）：
圧電体ウェハ表面に金属膜からなる櫛型電極を有し、かつ該圧電体ウェハ裏面に伸長しようとする応力を有する被膜を有し、その結果として該櫛型電極に圧縮応力がかかっていることを特徴とする弾性表面波素子。
IPC (2件)：
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