不良判定方法、及び不良判定システム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：三好秀和 , 岩▲崎▼ 幸邦 , 川又澄雄 , 中村友之 , 伊藤正和 , 高橋俊一 , 高松俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-287948
公開番号（公開出願番号）：特開2006-100742
出願日： 2004年09月30日
公開日（公表日）： 2006年04月13日
要約：

【課題】歩留まりに影響する製造条件の不良判定が可能な不良判定方法を提供する。【解決手段】複数の製品の製造工程をそれぞれの製造条件で実施した製造装置の製造条件に対応する状態変数データを取得し、複数の製品のそれぞれに関して状態変数データに対応する第1の特徴量の第1のデータ列の波形を作成し、波形間の相関に基づいて互いに類似する第1のデータ列を類似グループに分類し、類似グループのそれぞれで第1の特徴量の大小関係を可視化した第1の図形パターンにより表示する第1の可視化データ表を作成し、複数の製品の計測及び検査結果を表わす出来映えデータを取得し、類似グループに第2の特徴量の第2のデータ列を追加し、類似グループのそれぞれで出来映えデータに対応する第2の特徴量の大小関係を可視化した第2の図形パターンにより表示する第2の可視化データ表を作成する。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

複数の製品の製造工程をそれぞれの製造条件で実施した製造装置の前記製造条件に対応する状態変数データを取得し、前記複数の製品のそれぞれに関して前記状態変数データに対応する第1の特徴量の第1のデータ列の波形を作成し、前記波形間の相関に基づいて互いに類似する前記第1のデータ列を類似グループに分類し、前記類似グループのそれぞれで前記第1の特徴量の大小関係を可視化した第1の図形パターンにより表示する第1の可視化データ表を作成し、前記複数の製品の計測及び検査結果を表わす出来映えデータを取得し、前記類似グループに前記出来映えデータに対応する第2の特徴量の第2のデータ列を追加し、前記類似グループのそれぞれで前記第2の特徴量の大小関係を可視化した第2の図形パターンにより表示する第2の可視化データ表を作成することを含むことにより、前記製造条件の不良を判定することを特徴とする不良判定方法。

IPC (2件)：

H01L 21/02 , H01L 21/66

FI (2件)：

H01L21/02 Z , H01L21/66 Z

Fターム (5件)：

4M106AA01 , 4M106CA38 , 4M106CA48 , 4M106DJ20 , 4M106DJ27

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