特許
J-GLOBAL ID：200903065659271419
クリーンルーム構造
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 義久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-291705
公開番号（公開出願番号）：特開平8-152170
出願日： 1994年11月25日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：
【要約】【目的】冷却コイルの小型化によりグレーチング下空間の縮小化を図るとともに、送風空気の温度を均一化する。【構成】天井面全体をエアフィルター2,2面とし、床面をグレーチング4としてクリーンルームCRを構成するとともに、このクリーンルームCRの室外部分に空気循環用のダクトシャフト9を形成し、前記各エアフィルター2,2...の背面側に一体的に設けられた空気循環用ファン3、3...により前記クリーンルームCRとダクトシャフト9との間を空気が循環するように構成し、かつ前記クリーンルーム室外の循環路の途中に冷却コイル5を配設し顕熱負荷の処理を行うようにしたクリーンルーム構造において、前記冷却コイル5の背面側にファン6を設ける。
請求項（抜粋）：
実質的に天井面全体をエアフィルター面とし、床面を空気流通構造としてクリーンルームを構成するとともに、このクリーンルームの室外部分に空気循環用のダクト空間を形成し、前記各エアフィルターの背面側に一体的に設けられた空気循環用ファンまたは仕切られた天井裏空間に空気を押し込むために設けられた1または複数の循環用ファンにより前記クリーンルームとダクト空間との間を空気が循環するように構成し、かつ前記クリーンルーム室外の循環路の途中に冷却コイルを配設し顕熱負荷の処理を行うようにしたクリーンルーム構造において、前記冷却コイルの背面側にファンを設けたことを特徴とするクリーンルーム構造。
引用特許：
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