特許
J-GLOBAL ID：200903065662938211
ウェハ搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-302425
公開番号（公開出願番号）：特開平11-139559
出願日： 1997年11月05日
公開日（公表日）： 1999年05月25日
要約：
【要約】【課題】 キャリアからウェハが突出していても、ウェハがキャリアのスロットと擦れ合ったり、ウェハの搬送が不確実になったりしないウェハ搬送装置を提供すること。【解決手段】搬送装置の搬送アームのウェハ下面を支持するプレートにウェハの周縁部を検出する検出器を設け、ウェハ下面へのプレート挿入に際してウェハの突出位置を検出し、この信号に基づいて搬送アームの駆動を制御することによって、ウェハの突出に係わらず、常にウェハとプレートの位置関係を一定にする。
請求項（抜粋）：
ウェハを格納するキャリアと所定の装置との間で、ウェハの下面を支持する支持手段を用いて、ウェハの搬出入を行うウェハ搬送装置において、ウェハの周縁部の位置を検出するために前記支持手段に取り付けられた位置検出手段と、該検出手段が検出した位置情報に基づいて、当該支持手段のウェハ支持位置を制御する位置制御手段とを具備したことを特徴とするウェハ搬送装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B65G 49/07 E
, H01L 21/68 A
