特許

J-GLOBAL ID：200903065666380010

ガラスセラミックス積層体の焼結方法

発明者： 山出 善章 ,  守屋 要一
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-047100
公開番号（公開出願番号）：特開平8-245268
出願日： 1995年03月07日
公開日（公表日）： 1996年09月24日
要約：

【要約】【構成】 ガラス質を含有し、低温焼結が可能なガラスセラミックスグリーンシート1aを積層し、焼結させるガラスセラミックス積層体1の焼結方法において、ガラスセラミックスグリーンシート1aのキャビティ部2を含む上面にガラスセラミックスよりも焼結温度の高い無機成分からなる成形体層3を形成し、さらにその上部にガラスセラミックスと同一あるいは異なる組成からなるキャビティ部形状のガラスセラミックス成形体4を配置し、その後均一に加圧する工程を含んでいるガラスセラミックス積層体1の焼結方法。【効果】 ガラスセラミックス積層体1がキャビティ部2を有する場合であっても、キャビティ部2の底部の平坦性、周辺の変形、割れを抑制し、焼結中の水平方向の収縮を抑制し、緻密に焼結させることができる。

請求項（抜粋）：

ガラス質を含有し、低温焼結が可能なガラスセラミックスグリーンシートを積層し、焼結させるガラスセラミックス積層体の焼結方法において、前記ガラスセラミックスグリーンシートのキャビティ部を含む上面にガラスセラミックスよりも焼結温度の高い無機成分からなる成形体層を形成し、さらにその上部に前記ガラスセラミックスと同一あるいは異なる組成からなるキャビティ部形状のガラスセラミックス成形体を配置し、その後均一に加圧する工程を含んでいることを特徴とするガラスセラミックス積層体の焼結方法。