特許

J-GLOBAL ID：200903065674080093

荷電ビーム描画用データ作成装置

発明者： 小山 清美 ,  池永 修 ,  馬越 俊幸
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-278713
公開番号（公開出願番号）：特開平5-090141
出願日： 1991年09月30日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：

【要約】【目的】 ブロック単位の設計データにおける負荷のばらつきに起因するプロセッサの利用率の低下を回避することができ、描画スループットの向上に寄与し得る電子ビーム描画用データの作成装置を提供すること。【構成】 小領域に分割されたブロック単位の設計データを描画データに変換する電子ビーム描画用データの作成装置において、異なる処理を行う任意個数のプロセッサからなり、ブロック単位の設計データを描画データに変換するパイプライン構成の図形演算ユニット201 〜206 を複数個並列に設け、且つ各ユニットでプロセッサの直列接続段数を異ならせた図形演算処理部20と、ホスト計算機から転送されたブロック単位の設計データを、その図形密度に応じて最適な図形演算ユニットに分配するデータ分配部10と、図形演算ユニットで変換されたブロック単位の描画データを収集する結果収集部20とを備えたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

LSI設計データを小領域のブロックに分割し、該分割されたブロック単位の設計データを荷電ビーム描画装置に許容されるフォーマットの描画データに変換する荷電ビーム描画用データ作成装置において、所定の処理を行うプロセッサの任意の個数からなり、ブロック単位の設計データを描画データに変換する図形演算ユニットを複数個並列に設け、且つ少なくとも1つのユニットでプロセッサの直列接続段数を他のユニットとは異ならせた図形演算処理部と、ブロック単位の設計データを入力し、該設計データの負荷に応じた最適な図形演算ユニットを選択し、該選択された図形演算ユニットにブロック単位の設計データを分配するデータ分配部と、前記図形演算処理部の各図形演算ユニットで変換されたブロック単位の描画データを収集する結果収集部とを具備してなることを特徴とする荷電ビーム描画用データ作成装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521 ,  G06F 15/60 370