特許

J-GLOBAL ID：200903065677868945

送りねじ機構

発明者： 篠崎 弘行
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 高橋 敏忠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平2-401154
公開番号（公開出願番号）：特開平5-052248
出願日： 1990年12月10日
公開日（公表日）： 1993年03月02日
要約：

【要約】本発明は、雄ねじが形成された送りねじと、該送りねじの周囲部に配置され且つ雄ねじに対応する雌ねじが形成されている移動部材とを含み、送りねじの回転運動を移動部材の直線運動に変換する送りねじ機構に関する。本発明は、磁力により送りねじと移動部材とを非接触状態に維持しつつ回転運動を直線運動に変換するために前記送りねじ及び前記移動部材は磁性材料により形成された部分を備えている。これにより、宇宙空間の様な高真空環境や、半導体製造設備における清浄環境においても好適に用いられ、長寿命が得られる様な送りねじ機構を提供している。

請求項（抜粋）：

雄ねじが形成された送りねじと、該送りねじの周囲部に配置され且つ雄ねじに対応する雌ねじが形成されている移動部材とを含み、送りねじの回転運動を移動部材の直線運動に変換する送りねじ機構において、磁力により送りねじと移動部材とを非接触状態に維持しつつ回転運動を直線運動に変換するために前記送りねじ及び前記移動部材は磁性材料により形成された部分を備えていることを特徴とする送りねじ機構。