特許
J-GLOBAL ID:200903065695930836

三次元位置測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 光石 俊郎 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-229188
公開番号(公開出願番号):特開平5-066116
出願日: 1991年09月09日
公開日(公表日): 1993年03月19日
要約:
【要約】【目的】 高精度でダイナミックレンジの広い三次元位置測定を提供する。【構成】 プローブ光としてのHe-Neレーザ光Lを出射するレーザ光源101と、このHe-Neレーザ光Lを被検体102へ反射する回転自在な反射鏡103とからなる光照射部Aと、被検体102でのレーザ光Lの反射光RLを受光素子であるCCDイメージセンサ104へ導く回転自在な反射鏡105とからなる光検出部Bと、CCDイメージセンサ104の受光量を調整する受光積分回路106とが設けられてなり、CCDイメージセンサ104が受光する散乱光の積分時間を光の強度に応じて調整し、受光感度及びダイナミックレンジを向上させ近距離から長距離まで連続して三次元測定ができる。
請求項(抜粋):
平行光乃至収束光をプローブ光として被検体に照射すると共にその照射方向が2本の回転軸回りの回動により可変である光照射部と、撮像レンズ及び受光素子からなりその光軸方向が2本の回転軸回りの回動により可変であり且つ上記被検体からの反射光をその反射点の像が当該光軸に一致するよう回動調整して検出する光検出部と、上記プローブ光の出射方向及び上記光検出部での受光方向並びに当該光検出部と上記光照射部との相対的位置関係より三角測量の原理で上記反射点の位置を検出する処理部とを備えてなる三次元位置測定装置であって、受光素子が積分型センサであると共に、該受光素子が検出する散乱反射光の強度をもとに受光素子の積分時間を制御する制御手段を有することを特徴とする三次元位置測定装置。
IPC (2件):
G01B 11/24 ,  G01C 3/06

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