特許
J-GLOBAL ID：200903065698722886
インクジェットヘッドの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲元 富保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-317916
公開番号（公開出願番号）：特開平9-156114
出願日： 1995年12月06日
公開日（公表日）： 1997年06月17日
要約：
【要約】【課題】 インクジェットヘッドの製造工程における加工品質、加工効率が低い。【解決手段】 ダイシングソーのテーブル44上に、基板に積層型圧電素子を接合してなる4個の被加工物41を3列並べて配置すると共に、各列の加工開始側に砥石プレート45を配置して、電鋳ブレードは一走査中で砥石プレート45のスリット加工によるドレッシングを行った後被加工物41のスリット加工に入る。
請求項（抜粋）：
基板上に積層型圧電素子を接合した後、ダイシングソーを用いてスリット加工を施して前記積層型圧電素子を複数の積層型圧電素子に分割するインクジェットヘッドの製造方法において、前記ダイシングソーの加工ブレードとして電鋳ブレードを用いて、前記基板に前記積層型圧電素子を接合してなる複数の被加工物及び砥石プレートを同一テーブル上に配置して、前記スリット加工を施すことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
IPC (4件)：
B41J 2/16
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, H01L 41/09
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 A
, H01L 41/08 C
