特許
J-GLOBAL ID:200903065698920653

レーザ発振器ブロワ用軸受装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 井上 義雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-370486
公開番号(公開出願番号):特開2002-174198
出願日: 2000年12月05日
公開日(公表日): 2002年06月21日
要約:
【要約】【課題】 レーザ発振器のターボ式ブロワにおいて、長寿命化を図ると共に、高速回転時の軸位置の安定化を図ること。【解決手段】 インペラ1の回転軸2を下部軸受であるピボット軸受4と上部軸受である磁気軸受3により支持する。この磁気軸受3は、センサ15により軸位置を検出し、制御コイル14に制御電流を流すことによりラジアル方向の軸位置を制御すると共に、アキシアル方向軸位置制御を磁気軸受ステータ3aと磁気軸受ロータ3bとに働く復元力により行うラジアル制御の二軸制御型磁気軸受である。復元力をより強く作用させるため、それぞれ、磁気軸受ステータ3aと磁気軸受ロータ3bに段差16a,16bが設けてある。
請求項(抜粋):
軸方向に隔てたハウジング内の2箇所で上部軸受及び下部軸受により支持される回転軸の上部に、回転することにより気体を輸送するインペラを有し、インペラを囲んで気体の吸気口と排気口を有するケーシングがハウジングの上部に取り付けられ、上記上部軸受と下部軸受間に位置するモータで回転軸を駆動するレーザ発振器ブロワにおいて、インペラとは反対側の下部軸受を動圧型ピボット軸受とし、インペラ側の上部軸受をロータとステータの対向面に磁気的な段差を有する制御型磁気軸受としたことを特徴とするレーザ発振器ブロワ用軸受装置。
IPC (3件):
F04D 29/04 ,  F16C 32/00 ,  F16C 32/04
FI (3件):
F04D 29/04 M ,  F16C 32/00 C ,  F16C 32/04 A
Fターム (19件):
3H022AA02 ,  3H022BA06 ,  3H022CA11 ,  3H022CA16 ,  3H022DA13 ,  3H022DA20 ,  3J102AA01 ,  3J102BA03 ,  3J102BA19 ,  3J102CA10 ,  3J102DA02 ,  3J102DA03 ,  3J102DA09 ,  3J102DA16 ,  3J102DB05 ,  3J102DB10 ,  3J102DB11 ,  3J102GA06 ,  3J102GA20

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