特許
J-GLOBAL ID：200903065701179439
カラーフィルタ、ブラックマトリクスおよびセルギャップ制御用スペーサの形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中尾 俊輔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-103404
公開番号（公開出願番号）：特開平10-293206
出願日： 1997年04月21日
公開日（公表日）： 1998年11月04日
要約：
【要約】【課題】 フォトリソプロセスを全く使用しないか最小限にしたカラーフィルタの形成方法を提供すること。【解決手段】 ガラス基板の一面にR,B,Gのいずれか一色のカラーフィルタ膜を形成し、このカラーフィルタ膜をエキシマレーザ加工により複数のカラーフィルタに分断し、この一色のカラーフィルタが分断されて露出しているガラス基板の一面にR,B,Gのうちの使用されていないいずれか一色のカラーフィルタ膜を形成し、このカラーフィルタ膜をエキシマレーザ加工により複数のカラーフィルタに分断し、この二色のカラーフィルタがそれぞれ分断されて露出しているガラス基板の一面にR,B,Gのうちの使用されていない最後の一色のカラーフィルタ膜を形成し、このカラーフィルタ膜をエキシマレーザ加工により複数のカラーフィルタに分断してR,B,Gからなるカラーフィルタを形成する方法。
請求項（抜粋）：
ガラス基板の一面にR,B,Gのいずれか一色のカラーフィルタ膜を形成し、このカラーフィルタ膜をエキシマレーザ加工により複数のカラーフィルタに分断し、この一色のカラーフィルタが分断されて露出しているガラス基板の一面にR,B,Gのうちの使用されていないいずれか一色のカラーフィルタ膜を形成し、このカラーフィルタ膜をエキシマレーザ加工により複数のカラーフィルタに分断し、この二色のカラーフィルタがそれぞれ分断されて露出しているガラス基板の一面にR,B,Gのうちの使用されていない最後の一色のカラーフィルタ膜を形成し、このカラーフィルタ膜をエキシマレーザ加工により複数のカラーフィルタに分断してR,B,Gからなるカラーフィルタを形成するようにしたことを特徴とするカラーフィルタの形成方法。
IPC (4件)：
G02B 5/20 101
, G02B 5/00
, G02F 1/1335 505
, G02F 1/1339 500
G02B 5/20 101
, G02B 5/00 B
, G02F 1/1335 505
, G02F 1/1339 500
