欠陥検査方法及び装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：河野登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-231673
公開番号（公開出願番号）：特開平9-079997
出願日： 1995年09月08日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：

【要約】【課題】低S/N比の欠陥信号のS/N比を選択的に向上させ、欠陥の未検出、過検出を防止する。【解決手段】【数1】を満足する時間関数g(t)を基底とし、前記検出信号を時間関数f(t)で表した場合、次式【数2】〔ただし、aは時間関数g(t)の時間軸方向の幅を縮小するスケールパラメータ、bは時間関数g(t)の時間軸方向のシフトパラメータ〕によって、周波数及び時間の関数F(a,b)に変換するウェーブレット変換により、被検査材の欠陥を検出及び判定する。

請求項（抜粋）：

被検査材の性状に応じて得られた検出信号を処理して被検査材の欠陥を検査する方法において、【数1】を満足する時間関数g(t)を基底とし、前記検出信号を時間関数f(t)で表した場合、次式【数2】〔ただし、aは時間関数g(t)の時間軸方向の幅を縮小するスケールパラメータ、bは時間関数g(t)の時間軸方向のシフトパラメータ〕によって、周波数及び時間の関数F(a,b)に変換するウェーブレット変換により、被検査材の欠陥を検出及び判定することを特徴とする欠陥検査方法。

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