特許

J-GLOBAL ID：200903065714704109

移動体制御装置

発明者： 町田 貴裕 ,  小森谷 進
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-227515
公開番号（公開出願番号）：特開平8-097115
出願日： 1994年09月22日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：

【要約】【目的】 移動体の微小振動を低減させると共に、移動体の駆動手段に供給される位置フィードバック電圧を低減させる移動体制御装置を提供する。【構成】 位置ずれ量と位置フィードバック電圧との関係において、階段制御幅Reのデジタルゲインが可変されるように設定された非線形フィードバック制御によって、移動体としてのウエーハステージ部5の制御を行う。ウエーハステージ部5の位置ずれ量が小さくなった場合には、これに応じて位置フィードバック電圧も小さくなるので、移動体の微小振動は低減される。

請求項（抜粋）：

移動体の現在位置を検出し目標位置との位置ずれ量を算出して、位置ずれ量と位置フィードバック電圧との関係において位置ずれ量が0から所定値までの範囲を階段制御幅とする非線形フィードバック制御によって、前記位置ずれ量に対応した位置フィードバック電圧を駆動手段に供給して駆動手段により前記移動体を目標位置に移動させる移動体制御装置において、前記非線形フィードバック制御における前記階段制御幅を可変させることを特徴とする移動体制御装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G05D 3/12 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/30 503 C ,  H01L 21/30 515 G ,  H01L 21/30 516 B