特許
J-GLOBAL ID：200903065716635767
酸化物の気相蒸着法および蒸着薄膜
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-105991
公開番号（公開出願番号）：特開平11-293461
出願日： 1998年04月16日
公開日（公表日）： 1999年10月26日
要約：
【要約】【課題】 複酸化物の組成を安定して蒸着することを目的とする。【解決手段】 SrとTaの複合金属アルコキシドであるSr[Ta(OC2H5)6]2をSrとTaの複合原料26として,Bi(OtC5H11)3をBi原料27として用い,それぞれ別個の原料容器24内に保持する。原料容器24は原料が所定の蒸気圧を有するように,原料容器用ヒーター25により加熱されている。SrとTaの複合原料26およびBi原料27の原料蒸気を含んだキャリアガスはそれぞれ原料容器22から出た後に,酸化ガスボンベ20から供給される酸化ガスとガス配管18内で混合され反応室10に導入される。このようにして反応室内10に導入された有機原料ガスおよび酸化ガスはプラズマ電極14間で発生されるプラズマにより分解され,基板ヒーター16により加熱された基板15上に酸化物が蒸着される。
請求項（抜粋）：
同一分子内に2種類以上の金属元素を含む金属アルコキシドを少なくとも1種類は含有する有機物を,反応室内で発生させたプラズマにより分解することにより酸化物薄膜を形成することを特徴とする気相蒸着法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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